دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتو الکترونی دانشگاه صنعتی شریف - مرکز خدمات آزمایشگاهی

آزمایشگاه مربوطه :

مجموعه آزمایشگاه ها مرکز خدمات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف

سازمان مربوطه :

دانشگاه صنعتی شریف - مرکز خدمات آزمایشگاهی

نشانی آزمایشگاه :

تهران، خیابان آزادی، دانشگاه صنعتی شریف، مجتمع خدمات فناوری، مرکز خدمات آزمایشگاهی

مشخصات دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتو الکترونی:

تاریخ بروزرسانی : ۱۴۰۰/۰۴/۲۳

نام انگلیسی :

Electron Beam physical Vapor Deposition

زمینه های کاربردی

مهندسي , پزشكي , علوم پايه , كشاورزي , بيوتكنولوژي , ساير

خاصیت قابل اندازه گیری :

فيزيكي

آخرین وضعیت دستگاه :

آماده سرويس دهي

محدودیت های دستگاه :

انجام لایه‌نشانی تحت خلأ 5-10 تور با استفاده از پمپ‌های روتاری و دیفیوژن. زیرلایه به ابعاد حداکثر 5 *5 سانتی‌متر

توضیحات :

لایه‌نشانی به روش تبخیری با باریکه الکترون در خلأ ایجادشده توسط پمپ‌های روتاری و دیفیوژن انجام می‌شود که با تنظیم جریان باریکه الکترونی تارگت موردنظر گرم (ذوب) و لایه‌نشانی آغاز می‌شود. لایه‌نشانی توسط کریستال کوارتز در حین انجام آزمایش لایه‌نشانی کنترل شده تا به ضخامت مورد نظر برسیم.

موارد قابل اندازه گیری با دستگاه
مورد اندازه گیری شده واحد اندازه گیری دقت اندازه گیری
لایه نشانی nm 5
خدمات قابل ارائه با این دستگاه
شرح خدمت نحوه ارائه هزینه (ریال)
لایه نشانی فلزات توسط آزمايشگاه -
زمان سرویس دهی با این دستگاه
روز ساعت شروع ساعت پایان توضیحات
شنبه تا چهارشنبه ۰۸:۳۰ ۱۶:۰۰ به دلیل شیوع پاندمی کرونا تا اطلاع ثانوی ساعات کار آزمایشگاه از 8:00 الی 14:00 است.
متخصصین دستگاه
نام و نام خانوادگی مرتبه علمی تلفن
مونا میرمطلبی كارشناس -