آزمایشگاه سامانه‌های ریز و بسیار ریز الکترومکانیکی دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر پردیس دانشکده های فنی دانشگاه تهران

سال تاسیس : ۱۳۹۰

سازمان مرتبط :

  • وزارت علوم، تحقیقات و فناوری

    • دانشگاه تهران

      • پردیس دانشکده های فنی

        • دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

زمینه های تخصصی :

MEMS and Microfluidics

نشانی آزمایشگاه :

تهران، خیابان کارگر شمالی، تقاطع جلال آل احمد- پردیس شماره2 دانشگاه تهران، دانشکده ی برق و کامپیوتر، ساختمان شماره ی 1 برق طبقه زیر همکف اتاق شماره 12

حوزه فناوری مرتبط :

تجهیزات آزمایشگاه

خدمات آزمایشگاه

  • دستگاه بیضی سنج

  • دستگاه رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار

    (CVD)
  • دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر

    (RIE)
  • دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر

    (RIE)
  • دستگاه کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم/ فرکانس رادیویی

  • دستگاه کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم 

  • دستگاه کوره لوله ای

  • دستگاه لیتوگرافی با باریکه ی الکترونی

    (EBL)
  • دستگاه لیتوگرافی نوری تماسی

  • دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی

    (SEM)
  • دستگاه میکروسکوپ نیروی اتمی

    (AFM )
  • دستگاه نگاشت مستقیم لیزری