آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر پردیس دانشکده های فنی دانشگاه تهران

سال تاسیس : ۱۳۸۲

سازمان مرتبط :

  • وزارت علوم، تحقیقات و فناوری

    • دانشگاه تهران

      • پردیس دانشکده های فنی

        • دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

زمینه های تخصصی :

ساخت ادوات نانوالکترونیک و اکترومکانیم

نشانی آزمایشگاه :

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر- دانشگاه تهران- خیابان کارگر شمالی تقاطع جلال آل احمد- آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک

حوزه فناوری مرتبط :

تجهیزات آزمایشگاه

خدمات آزمایشگاه

  • دستگاه رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار

    (CVD)
  • دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما

    (PECVD)
  • دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما

    (PECVD)
  • دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر

    (RIE)
  • دستگاه سنجشگر پارامتر

  • دستگاه ضخامت سنج سوزنی

  • دستگاه لایه‌نشانی به روش کند و پاش

  • دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی

    (SEM)
  • دستگاه میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی

    (FESEM)
  • دستگاه میکروسکوپ الکترونی عبوری روبشی

    (STEM)
  • دستگاه میکروسکوپ الکترونی عبوری 

    (TEM )
  • دستگاه میکروسکوپ پروبی روبشی

    (SPM)
  • دستگاه میکرو طیف سنج رامان