سیستم اسپاترینگ مگنترونی آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید چمران اهواز ساخت شرکت پوشش‌های نانو ساختار نصب و راه‌اندازی گردید. این دستگاه ازدومین نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ساخت ایران خریداری شده است.

سیستم اسپاترینگ مگنترونی آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید چمران اهواز ساخت شرکت پوشش‌های نانو ساختار (مدل DST3-A)، در تاریخ 93/07/20 نصب و راه‌اندازی گردید. این دستگاه ازدومین نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ساخت ایران خریداری شده است. این دستگاه، یک سیستم لایه‌نشانی کامل و کاراست که از ویژگی‌هایی آن می‌توان به نگهداری آسان و سرعت بالا در ساخت لایه‌های چندتایی اشاره کرد. این سیستم دارای پمپ توربو، محفظه‌ای بزرگ و سه کاتد اسپاترینگ مگنترون می‌باشد که امکان لایه‌نشانی پیوسته و بدون محدودیت زمانی را فراهم می‌سازد. در این مدل، کاتدها با یکدیگر زاویه دارند، در نتیجه می‌توان آن‌ها را هم‌زمان روشن و لایه‌های آلیاژی تولید کرد.

 وجود پمپ توربو، سیستم را قادر می‌سازد تا در مدت زمان کمتری به فشارهای پایین رسیده و دسترسی به خلاء را آسان‌تر کند. این دستگاه همچنین دارای یک منبع تغذیه RF است که به کمک آن می‌توان هدف‌های غیر فلزی و نیمه‌رساناها را نیز لایه‌نشانی کرد. این سیستم قادر به ایجاد سه لایه مختلف بر روی زیر لایه و به تعداد دفعات دلخواه نیز هست. نرم‌افزار پیشرفته دستگاه نیز، اطلاعات مفید و قابل ذخیره‌ای از فرآیند لایه‌نشانی را در اختیار کاربر قرار می‌دهد.

این دستگاه پس از طی مراحل تست اولیه، آماده سرویس‌دهی به کلیه پژوهشگران و دانشجویان تحصیلات تکمیلی می‌باشد. برای کسب اطلاعات بیشتر به آدرس پرتال آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید چمران اهواز به نشانی http://laboratory.scu.ac.ir مراجعه فرمایید. 

سومین نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ساخت ایران، اردیبهشت ماه سال 1394 در محل دائمی نمایشگاه‌های بین المللی تهران برگزار می شود و معاونت علمی و فناوری ریاست جمهوری همانند دوره‌های قبل این نمایشگاه، از خریداران واجد شرایط حمایت‌های ویژه‌ای به عمل خواهد آورد.

کلمات کلیدی : شبکه آزمایشگاهی فناوری‌های راهبردی

ارسال نظر

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

Captcha