سیستم اسپاترینگ مگنترونی آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید چمران اهواز ساخت شرکت پوشش‌های نانو ساختار نصب و راه‌اندازی گردید. این دستگاه ازدومین نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ساخت ایران خریداری شده است.

سیستم اسپاترینگ مگنترونی آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید چمران اهواز ساخت شرکت پوشش‌های نانو ساختار (مدل DST3-A)، در تاریخ 93/07/20 نصب و راه‌اندازی گردید. این دستگاه ازدومین نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ساخت ایران خریداری شده است. این دستگاه، یک سیستم لایه‌نشانی کامل و کاراست که از ویژگی‌هایی آن می‌توان به نگهداری آسان و سرعت بالا در ساخت لایه‌های چندتایی اشاره کرد. این سیستم دارای پمپ توربو، محفظه‌ای بزرگ و سه کاتد اسپاترینگ مگنترون می‌باشد که امکان لایه‌نشانی پیوسته و بدون محدودیت زمانی را فراهم می‌سازد. در این مدل، کاتدها با یکدیگر زاویه دارند، در نتیجه می‌توان آن‌ها را هم‌زمان روشن و لایه‌های آلیاژی تولید کرد.

 وجود پمپ توربو، سیستم را قادر می‌سازد تا در مدت زمان کمتری به فشارهای پایین رسیده و دسترسی به خلاء را آسان‌تر کند. این دستگاه همچنین دارای یک منبع تغذیه RF است که به کمک آن می‌توان هدف‌های غیر فلزی و نیمه‌رساناها را نیز لایه‌نشانی کرد. این سیستم قادر به ایجاد سه لایه مختلف بر روی زیر لایه و به تعداد دفعات دلخواه نیز هست. نرم‌افزار پیشرفته دستگاه نیز، اطلاعات مفید و قابل ذخیره‌ای از فرآیند لایه‌نشانی را در اختیار کاربر قرار می‌دهد.

این دستگاه پس از طی مراحل تست اولیه، آماده سرویس‌دهی به کلیه پژوهشگران و دانشجویان تحصیلات تکمیلی می‌باشد. برای کسب اطلاعات بیشتر به آدرس پرتال آزمایشگاه مرکزی دانشگاه شهید چمران اهواز به نشانی http://laboratory.scu.ac.ir مراجعه فرمایید. 

سومین نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ساخت ایران، اردیبهشت ماه سال 1394 در محل دائمی نمایشگاه‌های بین المللی تهران برگزار می شود و معاونت علمی و فناوری ریاست جمهوری همانند دوره‌های قبل این نمایشگاه، از خریداران واجد شرایط حمایت‌های ویژه‌ای به عمل خواهد آورد.

کلمات کلیدی : شبکه آزمایشگاهی فناوری‌های راهبردی

ارسال نظر

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

نـــام
ایمیل
نظر شما
کارکترهایی که در تصویر می بینید را وارد نمایید. (حساس به حروف کوچک و بزرگ)