میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی دانشگاه صنعتی شریف - مرکز خدمات آزمایشگاهی

نام انگلیسی :

زمینه های کاربردی

خاصیت قابل اندازه گیری :

آخرین وضعیت دستگاه :

محدودیت های دستگاه :

اکثر نمونه‌های جامد و سلولی قابل‌مشخصه‌یابی در این آزمون هستند که برای هر نمونه اطلاعات لازم موردنیاز، توسط متقاضی مشخص می‌شود. اما برای نمونه‌های زیر محدودیت‌هایی وجود دارد: - نمونه‌های مرطوب و روغنی - نمونه‌های مغناطیسی - نمونه‌های حساس به خلأ (به‌دلیل آلاینده‌های موجود) - نمونه‌های لایه‌ای بسیار نازک با استحکام مکانیکی ضعیف (آسیب به نمونه و عدم توانایی در تصویربرداری با وضوح بالا) - حساسیت پایین برای آنالیز عنصری با عدد اتمی پایین (H,He,Li,Be,B)

توضیحات :

در شرایط خلأ، سطح نمونه توسط باریکه الکترونی به صورت کنترل‌شده روبش شده و تصویری دوبعدی از مورفولوژی نمونه را نتیجه می‌دهد. تصویر تشکیل‌شده، حاصل برهمکنش باریکه الکترونی فرودی از منبع گسیل میدانی الکترونی ولتاژ بالا با سطح نمونه است که به‌صورت ساطع‌شدن الکترون‌های ثانویه یا اشعه ایکس است. هر کدام از باریکه الکترونی ثانویه و یا پرتو اشعه ایکس ساطع‌شده، توسط آشکارسازهای مخصوص دریافت و برای تصویربرداری از سطح نمونه یا تعیین مشخصات ماده به‌کار می روند. بسته به نوع آشکارساز می‌توان نتایج زیر را از این آنالیز به دست آورد: - مورفولوژی و توپوگرافی سطح نمونه تا بزرگنمایی یک میلیون برابر (آشکارساز الکترونی ثانویه SE) - توزیع فازی از منظر عدد اتمی (آشکارساز الکترونی ثانویه پراکنده‌شده BSE) - آنالیز کمی عنصری به‌صورت نقطه‌ای و نقشه دوبعدی (آشکارساز پاشندگی انرژی اشعه ایکس EDS یا WDS)