پلاسما به عنوان حالت چهارم ماده در نظر گرفته می شود که مخلوطی از گازهای نیمه و یا کاملا یونیزه شده هستند که شامل اجزای واکنشگری مانند الکترونها، یونهای مثبت و منفی، رادیکال های آزاد، اتم های گاز و فوتون های اشعه فرابنفش است؛ این اجزا از تصادم الکترون به گازها و برانگیخته شدن آنها تولیدمی شوند (شکل)( 1)
پلاسما را می توان در قالب پدیده های طبیعی مانند ستاره ها و رعد و برق و یا در ساخته های دست انسان مانندچراغ های فلورسنت و نئون، تلویزیون پلاسما مشاهده کرد .به منظور تولید پلاسما به مخلوط های مختلفی از گازهای خنثی مثل اکسیژن، آرگون، هلیوم، نیتروژن و هیدروژن وانرژی داده و آنها را بر انگیخته می کنند که در این شرایط بسته به وضعیت عملیاتی و نوع پلاسما، اجزای گاز تماما یا تا حدودی یونیزه میشود. انرژی لازم برای برانگیخته کردن گازها به طور معمول از طریق جریان الکتریکی، حرارت، فشار، امواج رادیویی، مایکروویو و واکنش های شیمیایی ایجاد میشود، اما بهترین روش برای یونیزاسیون، روش های الکتریکی و مغناطیسی است. وقتی الکترون ها و پروتون ها با انرژی کافی به اتم ها و مولکول های گازی برخورد می کنند، با استفاده از یونیزاسیون و با از دست دادن الکترون از هر اتم گازی، پلاسما تولید میشود .
شکل (1): اجزاء تشکیل دهنده پلاسما .