میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک EFM یکی از اعضای خانواده میکروسکوپ‌های پروبی روبشی است. در این میکروسکوپ با اندازه‌گیری برهمکنش الکترواستاتیکی موضعی بین نوک سوزن رسانا و نمونه، نقشه ویژگی‌های الکتریکی نمونه به تصویر کشیده می‌شود.

میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک EFM یکی از اعضای خانواده میکروسکوپ‌های پروبی روبشی است. در این میکروسکوپ با اندازه‌گیری برهمکنش الکترواستاتیکی موضعی بین نوک سوزن رسانا و نمونه، نقشه ویژگی‌های الکتریکی نمونه به تصویر کشیده می‌شود. برای این منظور، یک ولتاژ بایاس بین نوک سوزن و نمونه اعمال می‌شود. از این ولتاژ برای ایجاد میدان الکترواستاتیک بین نوک سوزن و پایه و نیز برای میزان کردن این میدان استفاده می‌شود. فاز و فرکانس رزونانس تیرک با شیب شدت میدان الکتریکی تغییر کرده و برای ساخت تصویرEFM مورد استفاده قرار می‌گیرد. همچنین EFM میتواند برای تشخیص مناطق عایق و رسانا در نمونه استفاده شود. تصاویر EFM حاوی اطلاعات سودمندی درباره خواص الکتریکی نمونه مانند پتانسیل و توزیع بار در سطح نمونه بوده و یک ابزار سودمند برای آزمایش تراشه‌های ریزپردازنده زنده در مقیاس زیر میکرون است.
برای دریافت فایل کامل مقاله اینجا کلیک کنید.

ارسال نظر

پاسخ به نظــر بازگشت به حالت عادی ثبت نظر

Captcha