اساس کار میکروسکوپ های الکترونی روبشی، همانطور که از نامش پیداست، مبتنی بر روبش (جاروب کردن) سطح نمونه با پرتو الکترونی است. ناحیه ای از نمونه که الکترون های اولیه به آن نفوذ میکنند حجم واکنش نامیده میشود. به علت تنوع و تعدد برخوردهایی که ممکن است به وقوع بپیوندد، در راه شناخت چگونگی «حجم برهم کنش» پرتو الکترونی ورودی و ماده، پیچیدگی های زیادی وجود دارد. لذا امکان آشکارسازی پرتوهای ساطع شده از سوی ماده در اثر برهم کنش آن با پرتو الکترونی ورودی به منظور بررسی ویژگی ها و مشخصات ماده به صورت تصویر و آنالیز عنصری و ترکیب شیمیایی آن بسیار حائز اهمیت است.
با استفاده از این آشکارسازها می توان اطلاعات مختلفی از ماده از جمله مورفولوژی ذرات و توپوگرافی سطح نمونه، شکست نگاری، تهیه تصویر با وضوح بالا از آلیاژهای سبک مثل منیزیم و نانوتیوب کربنی، بررسی نانومواد لومینسانس دهنده نظیر نقاط کوانتومی نیمه هادی، کامپوزیت ها و هیبریدهای آلی - معدنی و غیره را فراهم نمود.
جهت دریافت نسخه کامل مقاله فایل پیوست را دریافت کنید.