آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر پردیس دانشکده های فنی
سازمان مرتبط :
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری
دانشگاه تهران
پردیس دانشکده های فنی
دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر
زمینه های تخصصی :
ساخت ادوات نانوالکترونیک و اکترومکانیم نشانی آزمایشگاه :
دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر- دانشگاه تهران- خیابان کارگر شمالی تقاطع جلال آل احمد- آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک
تجهیزات آزمایشگاه
خدمات آزمایشگاه
-
دستگاه رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار
(CVD)
-
دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما
(PECVD)
-
دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما
(PECVD)
-
دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر
(RIE)
-
دستگاه سنجشگر پارامتر
-
دستگاه ضخامت سنج سوزنی
-
دستگاه لایهنشانی به روش کند و پاش
-
دستگاه میکروسکوپ الکترونی عبوری روبشی
(STEM)
-
دستگاه میکروسکوپ الکترونی عبوری
(TEM )
-
میکروسکوپ الکترونی روبشی
(SEM)
-
میکروسکوپ الکترونی روبشی نشر میدانی
(FESEM)
-
میکروسکوپ پروبی روبشی
(SPM)
-
میکروطیف سنج رامان