دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتو الکترونی دانشگاه صنعتی شریف - مرکز خدمات آزمایشگاهی

نام انگلیسی :

زمینه های کاربردی

خاصیت قابل اندازه گیری :

آخرین وضعیت دستگاه :

محدودیت های دستگاه :

انجام لایه‌نشانی تحت خلأ 5-10 تور با استفاده از پمپ‌های روتاری و دیفیوژن. زیرلایه به ابعاد حداکثر 5 *5 سانتی‌متر

توضیحات :

لایه‌نشانی به روش تبخیری با باریکه الکترون در خلأ ایجادشده توسط پمپ‌های روتاری و دیفیوژن انجام می‌شود که با تنظیم جریان باریکه الکترونی تارگت موردنظر گرم (ذوب) و لایه‌نشانی آغاز می‌شود. لایه‌نشانی توسط کریستال کوارتز در حین انجام آزمایش لایه‌نشانی کنترل شده تا به ضخامت مورد نظر برسیم.