میکروسکوپ امپدانس روبشی تلفیقی از میکروسکوپ پروبی روبشی با پروب رسانا و طیف‌سنج امپدانس است. در میکروسکوپ پروبی روبشی، پروب به صورت نانومتری به سطح نمونه نزدیک و تصاویر توپوگرافی و سه‌بعدی با قدرت تفکیک اتمی از سطح نمونه تهیه می‌شود.
به طور معمول در میکروسکوپ‌های پروبی روبشی زمانی که نیاز به ایجاد اختلاف پتانسیل بین سطح نمونه و پروب باشد، از جریان و ولتاژ مستقیم (dc) استفاده می‌شود اما در میکروسکوپ امپدانس روبشی به علت محاسبه امپدانس، از جریان متناوب (ac) استفاده می‌گردد.
به بیان دقیق‌تر، میکروسکوپ امپدانس روبشی، روشی براساس میکروسکوپی پروبی روبشی برای تهیه تصویر کمی از خواص متناوب است.