با استفاده از انرژی و یا طول موج پرتو ایکس اطلاعاتی به دست می‌آید. بر این اساس دو نوع دستگاه آشکارسازی پرتو ایکس ایجاد می‌شود: دستگاه طیف سنج تفکیک انرژی (EDS) و دیگری دستگاه طیف سنج تفکیک طول موج است (WDS). 
در دستگاه EDS از انواع مختلف آشکارسازهای نیمه‌رسانا مانند: (SDD،Si(Li و HPGe استفاده می‌شود؛ و از طرف دیگر در دستگاه WDS به طور معمول آشکارسازهای گازی از نوع شمارنده‌های تناسبی و یا آشکارسازهای سوسوزن مورد استفاده قرار می‌گیرند. 
هر چند عملکرد آشکارسازها و چگونگی آشکارسازی پرتوهای ایکس کاملا با یکدیگر متفاوت است، اما هدف نهایی در هر دو نوع طیف سنجی، آشکارسازی انرژی یا طول موج پرتو ایکس مشخصه ساطع شده و آنالیز عنصری نمونه مورد نظر قرار گرفته در میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) است.