دستگاه رسوب شیمیای بخار با فیلامان داغ | Hot Filament Chemical Vapor Deposition

دستگاه رسوب شیمیای بخار با فیلامان داغ دانشگاه آزاد اسلامی واحد علوم و تحقیقات تهران - مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما