دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتو الکترونی جهاد دانشگاهی واحد دانشگاه صنعتی شریف

آزمایشگاه مربوطه :

مرکز خدمات تخصصی میکروالکترونیک جهاد دانشگاهی واحد دانشگاه صنعتی شریف

سازمان مربوطه :

جهاد دانشگاهی واحد دانشگاه صنعتی شریف

نشانی آزمایشگاه :

تهران، خیابان آزادی، ضلع شمالی دانشگاه صنعتی شریف، خیابان شهید قاسمی پلاک 71 صندوق پستی 686-13445

مشخصات دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتو الکترونی:

تاریخ بروزرسانی : ۱۳۹۳/۰۲/۱۷

نام انگلیسی :

Electron Beam physical Vapor Deposition

زمینه های کاربردی

مهندسي , علوم پايه

خاصیت قابل اندازه گیری :

فیزیکی

آخرین وضعیت دستگاه :

آماده سرويس دهي

محدودیت های دستگاه :

امکان لایه نشانی بر روی نمونه ای با قطر کمتر از 30 سانتیمتر وجود دارد

موارد قابل اندازه گیری با دستگاه
مورد اندازه گیری شده واحد اندازه گیری دقت اندازه گیری
ضخامت لايه نازك nm 1nm
خدمات قابل ارائه با این دستگاه
شرح خدمت نحوه ارائه هزینه (ریال)
هر بار لایه نشانی فلزات(به غیر از طلا) و دی الکتریک ها تا 200 نانومتر توسط آزمايشگاه ۳
هر بار لايه نشاني طلا از 5 نانومتر تا 100 نانومتر توسط آزمايشگاه ۲
براي هر 100 نانومتر لايه طلاي ضخيم تر توسط آزمايشگاه ۵۰۰
زمان سرویس دهی با این دستگاه
روز ساعت شروع ساعت پایان توضیحات
شنبه ۷:۴۵ ۱۶:۰۰
یکشنبه ۷:۴۵ ۱۶:۰۰
دوشنبه ۷:۴۵ ۱۶:۰۰
پنج شنبه ۰ ۰ با هماهنگی
چهارشنبه ۷:۴۵ ۱۶:۰۰
سه شنبه ۷:۴۵ ۱۶:۰۰
متخصصین دستگاه
نام و نام خانوادگی مرتبه علمی تلفن
مجید عین آبادی كارشناس ۶۶۰۰۵۹۳۷ - ۶۶۰۲۴۵۴۴ - ۶۶۰۲۸۱۹۴(مستقيم)