میکروسکوپ نیروی پاسخ پیزو، تغییر شکل ماده پیزوالکتریک ناشی از میدان الکتریکی اعمال شده از سوزن یک میکروسکوپ نیروی روبشی را تشخیص می دهد و آن را اندازه‌گیری می‌کند و همچنین می تواند توپوگرافی و دامنه های (حوزه های) فروالکتریک با توان تفکیک جانبی چند نانومتری را نقشه برداری و ترسیم کند. این ویژگی‌ها، میکروسکوپ نیروی پاسخ پیزو را برای ثبت و تحقیق الگوهای حوزه فروالکتریک، از دیگر روش‌ها متمایز ساخته است. در این مقاله، اصول اساسی میکروسکوپ نیروی پاسخ پیزو در تصویربرداری حوزه، حالت های تصویربرداری، تجزیه و تحلیل تصاویر، حالت های پیشرفته میکروسکوپ نیروی پاسخ پیزو، کاربردها، مزایا و معایب دستگاه شرح داده می شود.
میکروسکوپ نیروی پاسخ پیزو، تغییر شکل ماده پیزوالکتریک ناشی از میدان الکتریکی اعمال شده از سوزن یک میکروسکوپ نیروی روبشی را تشخیص می دهد و آن را اندازه‌گیری می‌کند و همچنین می تواند توپوگرافی و دامنه های (حوزه های) فروالکتریک با توان تفکیک جانبی چند نانومتری را نقشه برداری و ترسیم کند.