میکروسکوپ نیروی الکترواستاتیک EFM یکی از اعضای خانواده میکروسکوپ‌های پروبی روبشی است. در این میکروسکوپ با اندازه‌گیری برهمکنش الکترواستاتیکی موضعی بین نوک سوزن رسانا و نمونه، نقشه ویژگی‌های الکتریکی نمونه به تصویر کشیده می‌شود. برای این منظور، یک ولتاژ بایاس بین نوک سوزن و نمونه اعمال می‌شود. از این ولتاژ برای ایجاد میدان الکترواستاتیک بین نوک سوزن و پایه و نیز برای میزان کردن این میدان استفاده می‌شود. فاز و فرکانس رزونانس تیرک با شیب شدت میدان الکتریکی تغییر کرده و برای ساخت تصویرEFM مورد استفاده قرار می‌گیرد. همچنین EFM میتواند برای تشخیص مناطق عایق و رسانا در نمونه استفاده شود. تصاویر EFM حاوی اطلاعات سودمندی درباره خواص الکتریکی نمونه مانند پتانسیل و توزیع بار در سطح نمونه بوده و یک ابزار سودمند برای آزمایش تراشه‌های ریزپردازنده زنده در مقیاس زیر میکرون است.
برای دریافت فایل کامل مقاله
برای دریافت فایل کامل مقاله
اینجا
کلیک کنید.