دستگاه لایه‌نشانی به روش کند و پاش دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

آزمایشگاه مربوطه :

آزمایشگاه سامانه‌های ریز و بسیار ریز الکترومکانیکی دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر پردیس دانشکده های فنی دانشگاه تهران

سازمان مربوطه :

دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

نشانی آزمایشگاه :

تهران، خیابان کارگر شمالی، تقاطع جلال آل احمد- پردیس شماره2 دانشگاه تهران، دانشکده ی برق و کامپیوتر، ساختمان شماره ی 1 برق طبقه زیر همکف اتاق شماره 12

مشخصات دستگاه لایه‌نشانی به روش کند و پاش:

تاریخ بروزرسانی : ۱۴۰۰/۰۱/۰۱

نام انگلیسی :

Sputter Coater

زمینه های کاربردی

مهندسي , پزشكي , علوم پايه , بيوتكنولوژي , ساير

خاصیت قابل اندازه گیری :

فیزیکی

آخرین وضعیت دستگاه :

آماده سرويس دهي

محدودیت های دستگاه :

لایه نشانی دستگاه تا 1 میکرومتر

توضیحات :

قابلیت گرم کردن substrate تا 500در جه سانتی گراد. لایه نشانی بسیار یکنواخت با نگهدارنده ی بستر چرخان. رسوب سه ماده در لایه های مجزا

موارد قابل اندازه گیری با دستگاه
مورد اندازه گیری شده واحد اندازه گیری دقت اندازه گیری
ضخامت لایه ی نشانده شده آنگستروم 1
خدمات قابل ارائه با این دستگاه
شرح خدمت نحوه ارائه هزینه (ریال)
لایه نشانی RF توسط آزمايشگاه ۳,۰۰۰,۰۰۰
لایه نشانی بالاتر از 250nm توسط آزمايشگاه ۲,۰۰۰,۰۰۰
لایه نشانی DC توسط آزمايشگاه ۱,۰۰۰,۰۰۰
زمان سرویس دهی با این دستگاه
روز ساعت شروع ساعت پایان توضیحات
شنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
یکشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
دوشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
سه شنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
چهارشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -