دستگاه لیتوگرافی با باریکه ی الکترونی دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

آزمایشگاه مربوطه :

آزمایشگاه سامانه‌های ریز و بسیار ریز الکترومکانیکی دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر پردیس دانشکده های فنی دانشگاه تهران

سازمان مربوطه :

دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

نشانی آزمایشگاه :

تهران، خیابان کارگر شمالی، تقاطع جلال آل احمد- پردیس شماره2 دانشگاه تهران، دانشکده ی برق و کامپیوتر، ساختمان شماره ی 1 برق طبقه زیر همکف اتاق شماره 12

مشخصات دستگاه لیتوگرافی با باریکه ی الکترونی:

تاریخ بروزرسانی : ۱۳۹۷/۰۴/۱۰

نام انگلیسی :

Electron Beam Lithography

زمینه های کاربردی

مهندسي , علوم پايه , بيوتكنولوژي , ساير

خاصیت قابل اندازه گیری :

فیزیکی , ساختار , اندازه

آخرین وضعیت دستگاه :

آماده سرويس دهي

محدودیت های دستگاه :

میدان دید 0.5mm *0.5mm کوچکترین شاخصه ی قابل دسترس 50nm

توضیحات :

این دستگاه امکان نقش نگاری به کمک شعه ی الکترونی را دارد.

موارد قابل اندازه گیری با دستگاه
مورد اندازه گیری شده واحد اندازه گیری دقت اندازه گیری
ایجاد الگوهای نانومتری nm 50
خدمات قابل ارائه با این دستگاه
شرح خدمت نحوه ارائه هزینه (ریال)
نگاشت مستقیم روی بستر با لایه ی محافظ مخصوص توسط آزمايشگاه ۳,۹۰۰,۰۰۰
زمان سرویس دهی با این دستگاه
روز ساعت شروع ساعت پایان توضیحات
شنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
یکشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
دوشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
سه شنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
چهارشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -