دستگاه لایه‌نشانی به روش کند و پاش دانشگاه تهران - دانشکده علوم و فنون نوین

نام انگلیسی :

آخرین وضعیت دستگاه :

توضیحات :

این دستگاه با ابـعاد کوچک و قیمتی بسیار مناسب قادر است به روش اسپاترینگ اقدام به لایه نشانی هدفهایی از جنس فلزات نجیب مانند طلا، پلاتین و پالادیوم نموده و عمدتا به عنوان پوشش دهنده نمونه های میکروسکوپ الکترونی در آزمایشگاه های تحقیقاتی مورد استفاده قرار می گیرد. همچنین این دستگاه با قابلیت تجهیز به سیستم لایه نشان کربن امکان لایه نشانی کربن از نخ کربنی به روش تبخیر حرارتی را نیز فراهم می کند. با کنترل اتوماتیـک یا دستی فرایند خـلأ سازی و لایه نشانی می توان لایه هایـی با دقت ضخـامت 1 نانومــتر تولید کرد