دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتو الکترونی دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکز - دانشکده علوم - گروه فیزیک

آزمایشگاه مربوطه :

آزمایشگاه لایه نشانی گروه فیزیک دانشکده علوم دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکز

سازمان مربوطه :

دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکز - دانشکده علوم - گروه فیزیک

نشانی آزمایشگاه :

تهران، میدان پونک، بلوار همیلا، خیابان اورک، دانشگاه آزاداسلامی تهران مرکزی، مجتمع آیت الله رفسنجانی(نیایش)، دانشکده علوم پایه طبقه منفی دو، آزمایشگاه های تحقیقاتی فیزیک. کدپستی 86831-14676.

مشخصات دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی با پرتو الکترونی:

تاریخ بروزرسانی : ۱۳۹۹/۰۴/۱۵

نام انگلیسی :

Electron Beam physical Vapor Deposition

آخرین وضعیت دستگاه :

آماده سرويس دهي

محدودیت های دستگاه :

برای اسپاترینگ اکثر تارگت های فلزی خالص موجود است و برای تبخیر حرارتی و الکترون بیم محدودیت تارگت وجود دارد و با هماهنگی انجام می شود

خدمات قابل ارائه با این دستگاه
شرح خدمت نحوه ارائه هزینه (ریال)
لایه نشانی به روش اسپاترینگ(Sputtring) توسط آزمايشگاه ۳,۵۰۰,۰۰۰
لایه نشانی حرارتی در خلاء بالا〖10〗^(-5)(PVD) توسط آزمايشگاه ۴,۰۰۰,۰۰۰
لایه نشانی به روش تبخیری با باریکه الکترون (Electron Beam) توسط آزمايشگاه ۴,۰۰۰,۰۰۰
زمان سرویس دهی با این دستگاه
روز ساعت شروع ساعت پایان توضیحات
شنبه تا چهارشنبه ۹ ۱۴ با هماهنگی قبلی
متخصصین دستگاه
نام و نام خانوادگی مرتبه علمی تلفن
فرشاد ذوقی مربی -
نادر مدنی مشایی مربی -