دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

آزمایشگاه مربوطه :

آزمایشگاه سامانه‌های ریز و بسیار ریز الکترومکانیکی دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر پردیس دانشکده های فنی دانشگاه تهران

سازمان مربوطه :

دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

نشانی آزمایشگاه :

تهران، خیابان کارگر شمالی، تقاطع جلال آل احمد- پردیس شماره2 دانشگاه تهران، دانشکده ی برق و کامپیوتر، ساختمان شماره ی 1 برق طبقه زیر همکف اتاق شماره 12

مشخصات دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر:

تاریخ بروزرسانی : ۱۳۹۷/۰۴/۱۰

نام انگلیسی :

Reactive Ion Etching

زمینه های کاربردی

مهندسي , بيوتكنولوژي

خاصیت قابل اندازه گیری :

شیمیایی , بیولوژیک

آخرین وضعیت دستگاه :

آماده سرويس دهي
موارد قابل اندازه گیری با دستگاه
مورد اندازه گیری شده واحد اندازه گیری دقت اندازه گیری
ضخامت لایه ی برداشته شده µm دهم میکرون
خدمات قابل ارائه با این دستگاه
شرح خدمت نحوه ارائه هزینه (ریال)
لایه برداری پلیمر و پلاستیک - پلاسمای اکسیژن - آرگون - هوا - هیدروژن توسط آزمايشگاه ۷۰۰,۰۰۰
Etching ( لایه برداری سیلیسیم) توسط آزمايشگاه ۸۰۰,۰۰۰
Plasma Bonding توسط آزمايشگاه ۷۰۰,۰۰۰
زمان سرویس دهی با این دستگاه
روز ساعت شروع ساعت پایان توضیحات
شنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
یکشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
دوشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
سه شنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
چهارشنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -
پنج شنبه ۹:۰۰ ۱۸:۰۰ -