دستگاه اندازه گیری الکتروشیمیایی خازن و ولتاژ دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

نام انگلیسی :

زمینه های کاربردی

خاصیت قابل اندازه گیری :

آخرین وضعیت دستگاه :

توضیحات :

تکنیک خازن-ولتاژ الکتروشیمیایی ECVP بر اساس انداه‌گیری خازن یک اتصال شاتکی بین الکترولیت-نیمه‌هادی در ولتاژ dc ثابت عمل می‌کند. عمق نفوذ با زدایش الکترولیز نیمه‌هادی بین اندازه‌گیری‌های خازن، بدون محدودیت عمقی به دست می‌آید. این روش باعث تخریب نمونه می‌شود. اندازه‌گیری شامل دو بخش: اندازه‌گیری خازن و زدایش است. این سیستم برای خصوصیت یابی لایه نفوذ داده شده استفاده می‌شود. با استفاده از این سیستم می‌توان میزان غلظت حامل‌ها و عمق نفوذ آن‌ها را مشخص نمود. ویژگی‌های این سیستم: مونیتورکردن تراکم ناخالصی در عمق های مختلف نمونه، مونیتورکردن‌ ناخالصی‌های فعال الکتریکی شامل ناخالصی نوع n و p، اندازه‌گیری عمق پروفایل با دقت ۱ نانومتر، اندازه‌گیری تراکم‌های پایین‌، سطح مقطع اندازه گیری ۱ تا ۱۰ میلی متر مربع.