دستگاه لایه نشانی تبخیر فیزیکی دانشگاه علم و صنعت ایران - دانشکده فیزیک

نام انگلیسی :

زمینه های کاربردی

خاصیت قابل اندازه گیری :

آخرین وضعیت دستگاه :

توضیحات :

دقت لایه نشانی 0.5 نانومتر(نرخ لایه نشانی 0.1 آنگستروم) می باشد. ماکزیمم ضخامت لایه نشانی 200 نانومتر می باشد. هزینه هر ران لایه نشانی و بدون هزینه ماده اولیه و بوته، 1100000 تومان می باشد. امکان ارائه بوته و تارگت با دریافت هزینه مازاد بر هزینه لایه نشانی توسط آزمایشگاه وجود دارد. حداکثر ناحیه قابل لایه نشانی در هر ران به ابعاد 2.5 در 7 سانتیمتر است. لایه نشانی فلزاتی همچون Fe,Ni, Co, Au,Ag,Cu,Cr,Al و دیگر مواد غیر دیرگداز قابل انجام است.