دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

آزمایشگاه مربوطه :

آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر پردیس دانشکده های فنی دانشگاه تهران

سازمان مربوطه :

دانشگاه تهران - پردیس دانشکده های فنی - دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

نشانی آزمایشگاه :

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر- دانشگاه تهران- خیابان کارگر شمالی تقاطع جلال آل احمد- آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک

مشخصات دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما:

نام انگلیسی :

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

زمینه های کاربردی

مهندسي , علوم پايه

خاصیت قابل اندازه گیری :

فیزیکی , سایر

آخرین وضعیت دستگاه :

آماده سرويس دهي

محدودیت های دستگاه :

برخی مواد مانند قلع و یا ترکیبات اکسیدی در صورت استفاده به سیستم صدمه می زنند

توضیحات :

قابلیت بسیار بالا برای رشد نانولوله های کربنی

موارد قابل اندازه گیری با دستگاه
مورد اندازه گیری شده واحد اندازه گیری دقت اندازه گیری
قابلیت لایه نشانی چند لایه nm -
خدمات قابل ارائه با این دستگاه
شرح خدمت نحوه ارائه هزینه (ریال)
لايه نشانی توسط آزمايشگاه ۵۰۰,۰۰۰
زمان سرویس دهی با این دستگاه
روز ساعت شروع ساعت پایان توضیحات
شنبه ۸:۳۰ ۱۷:۳۰ با هماهنگي قبلي
یکشنبه ۸:۳۰ ۱۷:۳۰ با هماهنگي قبلي
دوشنبه ۸:۳۰ ۱۷:۳۰ با هماهنگي قبلي
سه شنبه ۸:۳۰ ۱۷:۳۰ با هماهنگي قبلي
چهارشنبه ۸:۳۰ ۱۷:۳۰ با هماهنگي قبلي
متخصصین دستگاه
نام و نام خانوادگی مرتبه علمی تلفن
فاطمه صالحی كارشناس ۸۸۰۱۳۲۰۱