آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر پردیس دانشکده های فنی

سال تاسیس : ۱۳۸۲

سازمان مرتبط :

  • وزارت علوم، تحقیقات و فناوری

    • دانشگاه تهران

      • پردیس دانشکده های فنی

        • دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر

زمینه های تخصصی :

ساخت ادوات نانوالکترونیک و اکترومکانیم

نشانی آزمایشگاه :

دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر- دانشگاه تهران- خیابان کارگر شمالی تقاطع جلال آل احمد- آزمایشگاه نانوالکترونیک و لایه نازک

حوزه فناوری مرتبط :

تجهیزات آزمایشگاه

خدمات آزمایشگاه

  • دستگاه رسوب دهی شیمیایی از فاز بخار

    (CVD)

  • دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما

    (PECVD)

  • دستگاه رسوب شیمیایی بخار به کمک پلاسما

    (PECVD)

  • دستگاه زدایش یونی واکنش پذیر

    (RIE)

  • دستگاه سنجشگر پارامتر

  • دستگاه ضخامت سنج سوزنی

  • میکروسکوپ پروبی روبشی

    (SPM)