در پی استقبال بسیار زیاد از برگزاری اولین دوره کارگاه آموزشی "فناوری ساخت در مقیاس ریز (میکرو/نانوفابریکیشن)" در تابستان 1403 مرکز خدمات آزمایشگاهی دانشگاه صنعتی شریف دومین کارگاه آموزشی "فناوری ساخت در مقیاس ریز ( نانو/ فابریکیشن)" را در بهمن ماه سال جاری با حضور اساتید برتر این حوزه برگزار مینماید. این کارگاه که به همت مرکز خدمات آزمایشگاهی و با حمایت معنوی معاونت علمی و فناوری ریاست جمهوری برای دومین دوره متوالی در دانشگاه صنعتی شریف برگزار میشود جهت آشنایی دانشجویان و پژوهشگران آزمایشگاههای تخصصی با فرایند کار در اتاق تمیز میکرو/نانوفب ترتیب داده شده است.
- سرفصلهای کارگاه -
:Intro + HSE
cleanroom: Defining, Designing and working in cleanrooms
:Cleanroom Environment
Basic components of cleanroom, Particle/Moisture Control
:Thin Film Deposition Techniques
Physical Vapor Deposition (PVD), Chemical Vapor Deposition (CVD), Pulse
Laser Deposition (PLD), Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Layer Patterning (Photolithography – Ebeam)
Etching Techniques
Backend
Characterization
Case study
